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   功率器件测试系统(power device measurement) 在片功率测试系统(load pull)

    

   晶体管老化系统(transistor aging system ) 台阶仪(profile meter)

   

    原子力显微镜(AFM) 扫描电子显微镜(SEM)

    

     红外热像仪(infra scope) 划片机(cutting)

    

    等离子体增强原子层淀积(PEALD) 电子束蒸发台(electron beam evaporation)

    

    探针台和半导体参数分析仪(Probe and semiconductor analyzer ) 


微波功率器件研制设备 功率器件测试系统(power device measurement) 在片功率测试系统(load pull) 晶体管老化系统(transistor aging system ) 台阶仪(profile meter) 原子力显微镜(AFM) 扫描电子显微镜(SEM) 微波功率器件研制设备   红外热像仪(infra scope) 划片机(cutting) 等离子体增强原子层淀积(PEALD) 电子束蒸发台(electron beam evaporation)    探针台和半导体参数分析仪(Probe and semiconductor analyzer ) 高低温烘胶机  

         

             光刻机                      接触式紫外光刻机

        

                  电子束直写光刻机

      

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